BICINE|CAS：150-25-4|在半导体领域的应用

N,N-二(羟乙基)甘氨酸（英文简称：BICINE，CAS: 150-25-4）是分子式为C₆H₁₃NO₄，分子量为163.1717 的一种有机物。BICINE是一种非常广泛的缓冲剂，可用于生物化学和医学研究的酶反应缓冲液，电泳缓冲液等。此外，BICINE还可用于半导体基板领域，CN1948418B专利开发了一种半导体基板用研磨液组合物，本周亚科股份小编简要介绍一下该研磨液组合物。

1.半导体基板用研磨液组合物是通过混合BICINE、二氧化铈粒子、分散剂和水性介质而得到的，其中，该研磨液组合物中的二氧化铈粒子重量占比2～22％，分散剂重量占比0.001～1.0％，BICINE重量占比 3～12％，BICINE/二氧化铈粒子的重量比优选为1/3～10/1。                               

2.半导体基板的研磨方法：步骤1记载的半导体基板用研磨液组合物稀释而得到的溶液以每分钟向每平方厘米的被研磨基板供应0.01～10g的供给速度供给至被研磨基板。

3.最后用步骤2的研磨方法对被研磨半导体基板进行研磨。

有益效果

1.BICINE分子内均衡良好地存在阴离子基、阳离子基、非离子基，所以即使吸附在二氧化铈粒子上也不会大幅度地降低粒子的ζ-电位和亲水性，

2.二氧化铈粒子间没有如高分子化合物那样的交联效果，即使以高浓度加入时，二氧化铈粒子的分散稳定性优良，可以制造质量稳定的高浓度产品，能够以较少的研磨量迅速地实现图案依赖性小的高度平坦化。               

参考文献

CN1948418B 半导体基板用研磨液组合物.