派瑞林N粉制备高效率肖特基结探测器

派瑞林N粉（CAS号：1633-22-3），一种对二甲苯的聚合物,是新型敷形涂层材料。派瑞林N粉可在真空下气象沉积，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，具有其他涂层难以比拟的性能优势。派瑞林N粉能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面，常用作电子元器件的表面镀膜，在半导体光电子器件等领域有广泛应用。

北京工业大学的徐晨等人利用派瑞林N薄膜作为碳源在硅表面直接生长石墨烯制备了一种高效率的石墨烯—硅肖特基结探测器，提供了一种新的硅肖特基结探测器制备方法，有利于促进其在可见光、近红外光探测领域的应用。

他们在硅衬底表面沉积一层派瑞林N薄膜，然后利用氩等离子体对派瑞林N薄膜进行表面刻蚀，刻蚀过程中派瑞林N薄膜表面会发生交联反应，即派瑞林分子之间相互键合交联成网络结构的较稳定分子(体型分子)的反应，形成一层几纳米厚的交联层，交联后的派瑞林薄膜在较高温度下能保持稳定不会分解。之后，在1100℃高温下快速退火，使表面发生交联的派瑞林N薄膜层发生石墨化转变为石墨烯，交未发生交联的派瑞林N则在温度达到650℃以上时就分解汽化。接下来光刻石墨烯图形，以光刻胶为掩膜，用氧等离子体刻蚀石墨烯，形成石墨烯-硅肖特基结窗口。最后，光刻电极图形，在石墨烯上面和衬底背面利用溅射或者蒸发制作金属电极，最终应用派瑞林N直接生长石墨烯的硅肖特基结探测器。

这种方法采用派瑞林N粉直接生长得到石墨烯，过程中不用转移石墨烯，不仅大大简化了器件的工艺流程，提高了制备效率，而且污染小，石墨烯与硅的接触更好，器件一致性更好，适合批量生长。

相关链接：派瑞林N粉

参考文献：应用派瑞林N薄膜直接生长石墨烯的硅肖特基结探测器.CN109216496A