Parylene涂覆原理和制备工艺介绍

通常的敷形涂层由于液态涂层固有的表面张力和固化应力容易造成涂层出现桥接、开裂、不均匀、针孔等现象，而且挥发性涂层对操作个人也存在一定的身体损害。Parylene涂层的涂覆采取的是气相沉积原理，聚对二甲苯的二聚体在真空状态中受热后从固态转变为气态，又在工件表面由气态转变为固态沉积下来，整个过程均在密闭空间中完成，避开了中间独立的液态过程，从而避免了对操作人员和环境的损害。

Parylene涂层的气相沉积制备过程主要分三步:

首先是聚对二甲苯二聚体原料在蒸发腔内升温至175℃升华;

第二步是升华后的二聚体气体进入裂解腔，在680℃左右的温度下，二聚体的分子键被断开，产生活性的Parylene单体;

最后Parylene单体被送到室温的真空沉积室里，在工件表面进行聚合沉积。

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