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Parylene系列材料之 Parylene E
2021-07-27
来源：亚科官网
一、Parylene E介绍
Parylene E薄膜是由约69%的二乙基对二甲苯链、25%的单乙基链对二甲苯和6%的对二甲苯链组成。Parylene E薄膜具有近各向同性光学性质，没有光损耗，可作为光波导的候选材料；parylene E薄膜能够溶于常见的实验室溶剂（氯仿、甲苯）中，使其可用于档案保护、文物保护等有时需要除去涂层的领域。此外，经过热处理的parylene E对非极性VOC具有高灵敏度的吸附亲和性，将来可用在高灵敏度的气体传感器上。
二、Parylene E镀膜实例1
将parylene E的前驱体放置于升华炉中，使用真空泵对真空气相沉积装置抽真空至真空度达到3 mTorr以下，升华炉温度设置在120℃，裂解温度设置为650℃，室温下以10.3Å/min速率进行薄膜沉积。
三、parylene E薄膜性能
Parylene E薄膜的熔点约在200℃，玻璃化转变温度（薄膜厚度0.7μm）为32.3-40.2℃，1MHz下的介电常数为2.34±0.03。Parylene E薄膜相比于paryleneN/C/C/HT薄膜，耐溶剂性较差，其在常用溶剂中的溶解温度如下表所示。
表1. parylene E薄膜在常用的溶剂中的溶解温度
参考文献：1.doi:10.1116/1.1487870，parylene HT、E薄膜前驱体合成工艺研究[D],东南大学
