CAS：1633-22-3| 派瑞林N粉在半导体领域中的应用

产品名称：    [2.2]对环芳烷
别名: 派瑞林N粉
英文名称：Parylene N
CAS：1633-22-3
分子式：C16H16
货号：    D0015
结构式：

产品简介
派瑞林N粉主要用作用于微电子、半导体领域高纯度的钝化层和介质层。还可以在微机电领域用作钝化、防护、润滑等涂层；此外，还可在生物医学防腐及文物保护等领域作为隔离、固化、加固材料。
派瑞林N粉具体应用
功率模块是功率电子元件按一定的功能组合再灌封成的模块。目前功率模块通常采用有机硅凝胶或者环氧树脂固化胶进行灌封，然而有机硅凝胶仅能防止液态水的侵入，气态水仍能进入到功率模块的内部，并对内部的电子元件造成腐蚀；环氧树脂固化胶虽然具有较好的防水性能，但流动性较差，故在由其形成的灌封层易出现分层和空洞，水汽会由分层间隙和空洞进入功率模块，腐蚀内部的电子元件，降低功率模块的可靠性。并且，功率模块在工作时会发热，若此时外界湿度较高或者内部存在水汽，会形成高温高湿环境，在此条件下功率模块的耐电压性能降低，更容易发生内部电子元件和电路的腐蚀，导致功率模块出现漏电和内部短路。因此，提高功率模块在高温高湿条件下的可靠性，成为了亟待解决的技术问题。因此，CN117199009A专利提供了一种功率模块。该功率模块主要包括功率模块本体、保护膜、壳体和灌封层。该保护膜的组分包括耐高温、防水防潮的派瑞林N材料。保护膜的具体制备方法如下：
采用胶带对测试合格的功率模块本体的基板背面和正面的焊接区域进行防护，随后将功率模块本体放入化学气相沉积设备中，以派瑞林N的前体作为原料，进行派瑞林N沉积，化学气相沉积的时间为60min，温度为25 ℃，形成厚度为5 μm的派瑞林N薄膜。
派瑞林N材料覆盖在功率模块本体的表面上，起到阻隔水汽的作用，在高温高湿条件下几乎不会发生分解，故在此条件下保护膜仍能起到较好的防护作用，可有效缓解功率模块内部电子元件和电路的腐蚀。

参考文献
CN117199009A 功率模块及其制备方法、半导体器件.